波纹管以及薄膜沉积设备
授权
摘要
本发明提供一种波纹管以及薄膜沉积设备，属于沉积设备技术领域，其可至少部分解决现有的可伸长或者收缩的波纹管不能自限位的问题。本发明的一种波纹管，包括：本体，本体能够在轴向上伸长或者缩短；销轴，设于本体外侧，且处于本体的轴向上的第一位置；挂钩，挂钩的第一端与本体外侧连接，且处于本体的轴向上的第二位置，挂钩的第二端具有与销轴匹配的挂接结构，当第一位置与第二位置之间的轴向长度处于预定长度时，销轴能卡入挂接结构内，以限定第一位置与第二位置之间的轴向长度。
基本信息
专利标题 ：
波纹管以及薄膜沉积设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110939800A
申请号 ：
CN201811105905.X
公开（公告）日 ：
2020-03-31
申请日 ：
2018-09-21
授权号 ：
CN110939800B
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
王帅伟兰云峰王勇飞
申请人 ：
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址 ：
北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
代理机构 ：
北京天昊联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
柴亮
优先权 ：
CN201811105905.X
主分类号 ：
F16L11/15
IPC分类号 ：
F16L11/15 F16L27/12 C23C14/22
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16L
管子；管接头或管件；管子、电缆或护管的支撑；一般的绝热方法
F16L
管子；管接头或管件；管子、电缆或护管的支撑；一般的绝热方法
F16L11/00
软管，即可弯曲的管子
F16L11/14
由刚性材料制成，如金属或硬塑料
F16L11/15
波纹的
法律状态
2022-05-27 ：
授权
2020-04-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : F16L 11/15
申请日 : 20180921
申请日 : 20180921
2020-03-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
