检测基板表面膜厚的方法
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明公开了一种检测基板表面膜厚的方法，其使用终点测定传感器检测基板表面膜厚，该终点测定传感器的投光侧到中心通过线的距离及受光侧到中心通过线的距离均为3mm。其减小EPS和基板间的距离，从而减少EPS和基板之间的气泡，克服了时间波动较大的缺陷，具有结构简单、成本相对较低等优点。
基本信息
专利标题 ：
检测基板表面膜厚的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1995906A
申请号 ：
CN200510112274.0
公开（公告）日 ：
2007-07-11
申请日 ：
2005-12-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
谢宇
申请人 ：
上海广电NEC液晶显示器有限公司
申请人地址 ：
201108上海市闵行区华宁路3388号
代理机构 ：
上海智信专利代理有限公司
代理人 ：
薛琦
优先权 ：
CN200510112274.0
主分类号 ：
G01B11/06
IPC分类号 ：
G01B11/06 G01B7/06
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B11/06
用于计量厚度
法律状态
2011-01-12 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101061479645
IPC(主分类) : G01B 11/06
专利申请号 : 2005101122740
公开日 : 20070711
号牌文件序号 : 101061479645
IPC(主分类) : G01B 11/06
专利申请号 : 2005101122740
公开日 : 20070711
2008-08-13 ：
实质审查的生效
2007-07-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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