用于扫描磁力显微镜的探针及其制备方法和在碳纳米管上形成铁...
专利权的终止
摘要
本发明提供一种用于扫描磁力显微镜的探针，它具有足够的分辨率而能够观察1200kFCI或更高记录密度的磁性储存介质；一种制备探针的方法，以及在碳纳米管上形成铁磁合金膜的方法。在本发明的内容中，用于扫描磁力显微镜的探针包含其表面至少部分涂覆有铁磁合金膜的碳纳米管，该铁磁合金膜由Co－Fe和Co－Ni合金中的任何一种组成，其中铁磁合金膜的表面算术平均粗糙度(Ra 10μm)控制在1.15nm或更小。还公开了一种制备该用于扫描磁力显微镜的探针的方法，和在碳纳米管上形成该铁磁合金膜的方法，从而通过控制铁磁合金膜的生成速率在1.0－2.5nm/min的范围内来达到该平均表面粗糙度。
基本信息
专利标题 ：
用于扫描磁力显微镜的探针及其制备方法和在碳纳米管上形成铁磁合金膜的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1801399A
申请号 ：
CN200510135302.0
公开（公告）日 ：
2006-07-12
申请日 ：
2005-12-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
秋永广幸仙波靖之横山浩安武正敏仓持宏实
申请人 ：
独立行政法人产业技术总合研究所;精工电子纳米科技有限公司
申请人地址 ：
日本国东京都千代田区霞关一丁目3番1号
代理机构 ：
北京三幸商标专利事务所
代理人 ：
刘激扬
优先权 ：
CN200510135302.0
主分类号 ：
G12B21/10
IPC分类号 ：
G12B21/10 G12B21/02 B81B7/02 H01L21/00 B05D7/24 B82B3/00
法律状态
2020-12-04 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G12B 21/10
申请日 : 20051227
授权公告日 : 20100505
终止日期 : 20191227
申请日 : 20051227
授权公告日 : 20100505
终止日期 : 20191227
2014-09-24 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101705588677
IPC(主分类) : G12B 21/10
专利号 : ZL2005101353020
变更事项 : 专利权人
变更前 : 独立行政法人产业技术总合研究所
变更后 : 独立行政法人产业技术总合研究所
变更事项 : 地址
变更前 : 日本国东京都千代田区霞关一丁目3番1号
变更后 : 日本国东京都千代田区霞关一丁目3番1号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 精工电子纳米科技有限公司
变更后 : 日本株式会社日立高新技术科学
号牌文件序号 : 101705588677
IPC(主分类) : G12B 21/10
专利号 : ZL2005101353020
变更事项 : 专利权人
变更前 : 独立行政法人产业技术总合研究所
变更后 : 独立行政法人产业技术总合研究所
变更事项 : 地址
变更前 : 日本国东京都千代田区霞关一丁目3番1号
变更后 : 日本国东京都千代田区霞关一丁目3番1号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 精工电子纳米科技有限公司
变更后 : 日本株式会社日立高新技术科学
2010-05-05 ：
授权
2008-01-09 ：
实质审查的生效
2006-07-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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