适于大面积衬底的电容性耦合RF等离子体反应器的阻抗匹配

专利权的终止

摘要

提供了一种用于将半导电层沉积到非常大的玻璃区域上的RF等离子体反应器(40)。该RF等离子体反应器包括真空室(18)、反应器室(24)、RF电源(12)、匹配网络(14)、位于真空室内部的第一(22)和第二金属板(20)以及被限定在第一和第二金属板之间的等离子体放电区(30)。该RF等离子体反应器进一步包括馈送线(26)和阻抗变换电路(42)，其两者都电连接到第一金属板。该阻抗变换电路进一步包括变换反应器的阻抗的阻塞可调电容器(Car)。

基本信息

专利标题：

适于大面积衬底的电容性耦合RF等离子体反应器的阻抗匹配

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101057310A

申请号：

CN200580038684.3

公开（公告）日：

2007-10-17

申请日：

2005-11-11

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

A·贝林格

申请人：

OC欧瑞康巴尔斯公司

申请人地址：

列支敦士登巴尔策斯

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

张雪梅

优先权：

CN200580038684.3

主分类号：

H01J37/32

IPC分类号：

H01J37/32

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01J

放电管或放电灯

H01J37/00

有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的

H01J37/32

充气放电管

法律状态

2017-01-04 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101695996757
IPC(主分类) : H01J 37/32
专利号 : ZL2005800386843
申请日 : 20051111
授权公告日 : 20101103
终止日期 : 20151111

2013-12-11 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101678864555
IPC(主分类) : H01J 37/32
专利号 : ZL2005800386843
变更事项 : 专利权人
变更前 : 欧瑞康太阳能股份公司(特吕巴赫)
变更后 : 东电电子太阳能股份公司
变更事项 : 地址
变更前 : 瑞士特吕巴赫
变更后 : 瑞士特吕巴赫

2011-04-27 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101083483921
IPC(主分类) : H01J 37/32
专利号 : ZL2005800386843
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 欧瑞康太阳IP股份公司(特吕巴赫)
变更后权利人 : 欧瑞康太阳能股份公司(特吕巴赫)
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 瑞士特吕巴赫
变更后权利人 : 瑞士特吕巴赫
登记生效日 : 20110322

2010-11-03 ：

授权

2010-01-06 ：

专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移)

变更事项 : 申请人
变更前权利人 : OC欧瑞康巴尔斯公司
变更后权利人 : 欧瑞康太阳IP股份公司（特吕巴赫）
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 列支敦士登巴尔策斯
变更后权利人 : 瑞士特吕巴赫
登记生效日 : 20091204

2007-12-12 ：

实质审查的生效

2007-10-17 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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