可缩放集成逻辑和非易失性存储器
授权
摘要
一种可缩放逻辑晶体管具有一对用于漏极和源极的掺杂区域。栅极绝缘体层形成在衬底上方并位于所述漏极与源极区域之间。栅极堆叠由两个金属氮化物层之间的例如多晶硅或金属的栅极层形成。可通过在隧道绝缘体与所述栅极堆叠之间添加具有内嵌的金属纳米点层的高K介电常数膜而由此基本结构形成兼容的非易失性存储器晶体管。
基本信息
专利标题 ：
可缩放集成逻辑和非易失性存储器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101061585A
申请号 ：
CN200580039701.5
公开（公告）日 ：
2007-10-24
申请日 ：
2005-11-01
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
阿勒普·巴塔查里亚
申请人 ：
麦克隆科技公司
申请人地址 ：
美国爱达荷州
代理机构 ：
北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
王允方
优先权 ：
CN200580039701.5
主分类号 ：
H01L29/423
IPC分类号 ：
H01L29/423 H01L21/28 H01L21/336
法律状态
2012-04-18 ：
授权
2007-12-19 ：
实质审查的生效
2007-10-24 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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