用于两侧测量的重叠共用路径干涉仪

发明专利申请公布后的驳回

摘要

两个共用路径的干涉仪共享一个测量腔，用于测量不透明的测试部件的相反的侧面。在测试部件的一个侧面与第一干涉仪的参照面之间、在测试部件的另一个侧面与第二干涉仪的参照面之间、以及在第一和第二参照面之间，形成干涉图案。两个干涉仪的参照面之间的后一种测量使测试部件的相反侧面的测量能够彼此关联起来。

基本信息

专利标题：

用于两侧测量的重叠共用路径干涉仪

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101087990A

申请号：

CN200580044620.4

公开（公告）日：

2007-12-12

申请日：

2005-12-14

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

A·W·库拉维克M·J·特罗诺洛恩J·C·马龙T·J·邓恩

申请人：

康宁股份有限公司

申请人地址：

美国纽约州

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司

代理人：

李玲

优先权：

CN200580044620.4

主分类号：

G01B11/02

IPC分类号：

G01B11/02

IPC结构图谱

G部——物理

G01

测量；测试

G01B

长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量

G01B11/00

以采用光学方法为特征的计量设备

G01B11/02

用于计量长度、宽度或厚度

法律状态

2012-02-01 ：

发明专利申请公布后的驳回

号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101274724018
IPC(主分类) : G01B 11/02
专利申请号 : 2005800446204
公开日 : 20071212

2008-02-06 ：

实质审查的生效

2007-12-12 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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