增强型等离子氧化膜沉积装置腔盖冷却水管道

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了增强型等离子氧化膜沉积装置腔盖冷却水管道，包括硬质水管、软质水管和直角接头，所述硬质水管的一端连接到增强型等离子氧化膜沉积装置的腔盖上，所述硬质水管的另一端连接到所述直角接头的一端，所述直角接头的另一端连接到所述软质水管的一端，所述硬质水管为拐角为钝角的“Z”字形。本实用新型通过将硬质水管改进成“Z”字形，使得冷却水管道避开了增强型等离子氧化膜沉积装置腔体表面的障碍，其结构简单可靠，使得软质水管大大的减少了冷却水管道发生老化以及开裂漏水等情况的次数。

基本信息

专利标题：

增强型等离子氧化膜沉积装置腔盖冷却水管道

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200620048783.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2006-12-11

授权号：

CN201028140Y

授权日：

2008-02-27

发明人：

陈慧佳

申请人：

上海华虹NEC电子有限公司

申请人地址：

201206上海市浦东新区川桥路1188号

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司

代理人：

顾继光

优先权：

CN200620048783.1

主分类号：

F16L9/00

IPC分类号：

F16L9/00 F16L15/00 C23C16/00

IPC结构图谱

F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破

F16

工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热

F16L

管子；管接头或管件；管子、电缆或护管的支撑；一般的绝热方法

F16L

管子；管接头或管件；管子、电缆或护管的支撑；一般的绝热方法

F16L9/00

刚性管

法律状态

2017-02-01 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101700973185
IPC(主分类) : F16L 9/00
专利号 : ZL2006200487831
申请日 : 20061211
授权公告日 : 20080227
终止日期 : 20151211

2014-01-08 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101685129894
专利号 : ZL2006200487831
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 上海华虹NEC电子有限公司
变更后权利人 : 上海华虹宏力半导体制造有限公司
变更事项 : 地址
IPC(主分类) : F16L 9/00
变更前权利人 : 201206 上海市浦东新区川桥路1188号
变更后权利人 : 201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
登记生效日 : 20131218

2008-02-27 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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