适用于不同晶舟盒的晶片起托器

专利权的终止

摘要

本实用新型提供一种适用于不同晶舟盒的晶片起托器，其中，该起托器至少包括一个底座，至少一个水平放置在底座上方的固定板，至少一个固定在固定板上的凸块，该凸块可以从晶舟盒的底部将晶片托起。起托器包括多个呈阶梯状叠放的固定板，尺寸最大的固定板放置在最下层。每个固定板的尺寸大小分别对应于不同尺寸的晶舟盒。与现有技术相比，本实用新型的晶片起托器可以通过凸块稳固地将晶舟盒中的晶片托起，此外，还设置多个阶梯叠放的固定板，使该晶片起托器适用于不同尺寸的晶舟盒，有效地节约了生产成本。

基本信息

专利标题：

适用于不同晶舟盒的晶片起托器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200620049611.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2006-12-27

授权号：

CN201017858Y

授权日：

2008-02-06

发明人：

蓝仁隆龚伟平李向前钱达

申请人：

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

申请人地址：

201203上海市张江路18号

代理机构：

上海智信专利代理有限公司

代理人：

王洁

优先权：

CN200620049611.6

主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/673

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01L

半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件

H01L21/00

专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备

H01L21/67

专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置

H01L21/673

使用专用的载体的

法律状态

2017-01-25 ：

专利权的终止

专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101700187652
IPC(主分类) : H01L 21/673
专利号 : ZL2006200496116
申请日 : 20061227
授权公告日 : 20080206
终止日期 : 无

2013-02-20 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101515795816
IPC(主分类) : H01L 21/673
专利号 : ZL2006200496116
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市浦东新区张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20130115

2008-02-06 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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