一种用于直拉单晶硅制备中的掺杂装置
专利权的终止
摘要
一种用于直拉单晶硅制备中的掺杂装置，它包括装置主体，一个置于主体内的石英材质的掺杂工具，所述的装置主体包括：真空波纹管，移动挡板，真空波纹管的一端与移动挡板连接，形成密封，挡板套在金属丝杆上，金属丝杆连接手柄，移动挡板与导柱配合，真空波纹管的另一端与底板连接；所述的掺杂工具接在位于移动挡板内侧的卡套内。该装置结构紧凑，操作方便，不需要隔离上下炉室和重装籽晶。
基本信息
专利标题 ：
一种用于直拉单晶硅制备中的掺杂装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200620134195.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2006-10-30
授权号 ：
CN201003079Y
授权日 ：
2008-01-09
发明人 ：
方峰郑沉王来福安国祥孙韶辉
申请人 ：
北京有色金属研究总院
申请人地址 ：
100088北京市新街口外大街2号
代理机构 ：
北京北新智诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
郭佩兰
优先权 ：
CN200620134195.X
主分类号 ：
C30B15/04
IPC分类号 ：
C30B15/04
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法
C30B15/02
向熔融液中添加结晶化材料或添加反应过程中就地生成结晶化材料之反应物的
C30B15/04
添加掺杂材料，例如用于n-p结的
法律状态
2016-11-23 ：
专利权的终止
专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101689446843
IPC(主分类) : C30B 15/04
专利号 : ZL200620134195X
申请日 : 20061030
授权公告日 : 20080109
终止日期 : 无
号牌文件序号 : 101689446843
IPC(主分类) : C30B 15/04
专利号 : ZL200620134195X
申请日 : 20061030
授权公告日 : 20080109
终止日期 : 无
2015-07-29 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101718662480
IPC(主分类) : C30B 15/04
专利号 : ZL200620134195X
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 有研新材料股份有限公司
变更后权利人 : 有研半导体材料有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 100088 北京市新街口外大街2号
变更后权利人 : 101300 北京市顺义区林河工业开发区双河路南侧
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 有研半导体材料有限公司
变更后权利人 : 无
登记生效日 : 20150709
号牌文件序号 : 101718662480
IPC(主分类) : C30B 15/04
专利号 : ZL200620134195X
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 有研新材料股份有限公司
变更后权利人 : 有研半导体材料有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 100088 北京市新街口外大街2号
变更后权利人 : 101300 北京市顺义区林河工业开发区双河路南侧
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 有研半导体材料有限公司
变更后权利人 : 无
登记生效日 : 20150709
2015-06-03 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101715912828
IPC(主分类) : C30B 15/04
专利号 : ZL200620134195X
变更事项 : 专利权人
变更前 : 有研新材料股份有限公司
变更后 : 有研新材料股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 100088 北京市新街口外大街2号
变更后 : 100088 北京市新街口外大街2号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 国泰半导体材料有限公司
变更后 : 有研半导体材料有限公司
号牌文件序号 : 101715912828
IPC(主分类) : C30B 15/04
专利号 : ZL200620134195X
变更事项 : 专利权人
变更前 : 有研新材料股份有限公司
变更后 : 有研新材料股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 100088 北京市新街口外大街2号
变更后 : 100088 北京市新街口外大街2号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 国泰半导体材料有限公司
变更后 : 有研半导体材料有限公司
2014-06-25 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101702232751
IPC(主分类) : C30B 15/04
专利号 : ZL200620134195X
变更事项 : 专利权人
变更前 : 有研半导体材料股份有限公司
变更后 : 有研新材料股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 100088 北京市新街口外大街2号
变更后 : 100088 北京市新街口外大街2号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 国泰半导体材料有限公司
变更后 : 国泰半导体材料有限公司
号牌文件序号 : 101702232751
IPC(主分类) : C30B 15/04
专利号 : ZL200620134195X
变更事项 : 专利权人
变更前 : 有研半导体材料股份有限公司
变更后 : 有研新材料股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 100088 北京市新街口外大街2号
变更后 : 100088 北京市新街口外大街2号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 国泰半导体材料有限公司
变更后 : 国泰半导体材料有限公司
2012-03-21 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101305722682
IPC(主分类) : C30B 15/04
专利号 : ZL200620134195X
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 北京有色金属研究总院
变更后权利人 : 有研半导体材料股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 100088 北京市新街口外大街2号
变更后权利人 : 100088 北京市新街口外大街2号
变更事项 : 共同专利权人
变更前权利人 : 有研半导体材料股份有限公司;国泰半导体材料有限公司
变更后权利人 : 国泰半导体材料有限公司
登记生效日 : 20120210
号牌文件序号 : 101305722682
IPC(主分类) : C30B 15/04
专利号 : ZL200620134195X
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 北京有色金属研究总院
变更后权利人 : 有研半导体材料股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 100088 北京市新街口外大街2号
变更后权利人 : 100088 北京市新街口外大街2号
变更事项 : 共同专利权人
变更前权利人 : 有研半导体材料股份有限公司;国泰半导体材料有限公司
变更后权利人 : 国泰半导体材料有限公司
登记生效日 : 20120210
2008-03-26 ：
实用新型专利说明书更正
号 : 02
卷 : 24
页码 : 扉页
更正项目 : 共同专利权人
误 : 无
正 : 有研半导体材料股份有限公司|国泰半导体材料有限公司
卷 : 24
页码 : 扉页
更正项目 : 共同专利权人
误 : 无
正 : 有研半导体材料股份有限公司|国泰半导体材料有限公司
2008-03-26 ：
实用新型专利公报更正
号 : 02
卷 : 24
页码 : 无
更正项目 : 共同专利权人
误 : 无
正 : 有研半导体材料股份有限公司|国泰半导体材料有限公司
卷 : 24
页码 : 无
更正项目 : 共同专利权人
误 : 无
正 : 有研半导体材料股份有限公司|国泰半导体材料有限公司
2008-01-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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