单晶硅生长炉一炉多次掺杂装置

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摘要

本实用新型是关于单晶硅生长炉领域，特别涉及一种单晶硅生长炉一炉多次掺杂装置。包括掺杂筒；掺杂机构包括外筒，外筒内壁为N边形，其中N‑1条边每条边上设有一轴座，每个轴座上设有心轴；掺杂筒底部筒壁上设有一偏心孔，心轴装设于偏心孔内；外筒内顶部设有封盖，转轴手柄通过轴承与密封圈与封盖相连，封盖上设有若干止动孔，止动孔的位置与掺杂筒相对应；转轴手柄下端穿过封盖与挡板固连，上端与定位止动销相连，止动销底端插入其中一个定位孔内，挡板上设有缺口。本实用新型采用多次掺杂技术，保证掺杂元素均匀分布在晶棒里，提高晶棒的品质，提高收益；可以解决原有的一次只能掺杂一份掺杂剂的不足。

基本信息

专利标题：

单晶硅生长炉一炉多次掺杂装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921029858.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-04

授权号：

CN210796694U

授权日：

2020-06-19

发明人：

曹建伟傅林坚胡建荣高宇倪军夫叶钢飞春伟博谭庆黄剑利

申请人：

浙江晶盛机电股份有限公司

申请人地址：

浙江省绍兴市上虞区通江西路218号

代理机构：

杭州中成专利事务所有限公司

代理人：

周世骏

优先权：

CN201921029858.5

主分类号：

C30B15/04

IPC分类号：

C30B15/04 C30B29/06