单晶炉掺杂装置

授权

摘要

一种单晶炉掺杂装置，涉及单晶炉部件技术领域，包括由上至下依次密封连接并连通的进料部、阻通部、出料部；进料部包括由上至下依次密封连接并连通的真空阀、第一法兰、第二法兰、料仓，料仓的入料口与第二法兰密封连接并连通，料仓的出料口与阻通部密封连接并连通。通过第一法兰和第二法兰的拆卸分离，料仓的入料口能够与外界连通，保证了本装置能够根据掺杂剂的实际需求不断添加，保证了在投掺过程中不会出现无掺杂剂可投的情况，进而保证不会因为投掺量的问题导致拉制出来的产品品质不合格。

基本信息

专利标题：

单晶炉掺杂装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020413455.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-03-27

授权号：

CN212077194U

授权日：

2020-12-04

发明人：

张兴茂

申请人：

宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

申请人地址：

宁夏回族自治区银川市西夏区光明西路28号

代理机构：

宁夏合天律师事务所

代理人：

孙彦虎

优先权：

CN202020413455.7

主分类号：

C30B15/04

IPC分类号：

C30B15/04