配制液态掺杂剂稀溶液的气体载运方法及其装置
被视为撤回的申请
摘要
本发明属于掺杂的气相化学淀积领域。以高纯载气流经恒温掺杂剂的冒泡瓶，再流经外延淀积用的基质液瓶，载入基质液中的掺杂剂量可得到精确控制。本法操作简便，避免了配液过程中氯化物的水解、氧化等空气污染及对人体的毒害，解决了那些室温下就沸腾的掺杂剂(如BCl3)的配制问题，同时对掺杂剂有一定提纯功效。
基本信息
专利标题 ：
配制液态掺杂剂稀溶液的气体载运方法及其装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN86104706A
申请号 ：
CN86104706
公开（公告）日 ：
1988-01-27
申请日 ：
1986-07-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
杨韧
申请人 ：
杨韧
申请人地址 ：
北京市650信箱
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN86104706
主分类号 ：
H01L21/223
IPC分类号 ：
H01L21/223 H01L21/205 C30B31/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/02
半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21/04
至少具有一个跃变势垒或表面势垒的器件，例如PN结、耗尽层、载体集结层
H01L21/18
器件有由周期表Ⅳ族元素或含有/不含有杂质的AⅢBⅤ族化合物构成的半导体，如掺杂材料
H01L21/22
杂质材料的扩散，例如在半导体或半导体的交界区掺入或析出掺杂材料，电极材料；杂质材料的再分配，例如，不引入或去除过多的掺杂剂
H01L21/223
应用从气相向固体或从固体向气相的扩散法
法律状态
1989-11-29 ：
被视为撤回的申请
1988-01-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN86104706A.PDF
PDF下载
