一种直拉单晶用纯元素掺杂装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种直拉单晶用纯元素掺杂装置,包括上盖、料盒以及卡箍;所述上盖位于料盒的顶部,上盖、料盒的后端通过铰链轴连接,前端均设有轴孔,所述轴孔内贯穿有磁棒;上盖、料盒通过前端磁棒的磁性作用靠紧,从而通过上盖将料盒封闭;所述上盖的一侧边后端具有一突出部位,所述卡箍贯穿固定在突出部位内,通过卡箍将整个掺杂装置固定在籽晶杆上,并随随重锤一同吊入单晶炉内,在单晶炉内的高温下磁棒退磁,从而料盒在重力作用下翻转打开,使得内部装载的掺杂剂落入熔硅中。
基本信息
专利标题 :
一种直拉单晶用纯元素掺杂装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921699199.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-11
授权号 :
CN210945851U
授权日 :
2020-07-07
发明人 :
栗宁
申请人 :
宁夏协鑫晶体科技发展有限公司
申请人地址 :
宁夏回族自治区中卫市中卫工业园区
代理机构 :
江苏圣典律师事务所
代理人 :
胡建华
优先权 :
CN201921699199.6
主分类号 :
C30B15/04
IPC分类号 :
C30B15/04 C30B29/06
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长,例如Czochralski法
C30B15/02
向熔融液中添加结晶化材料或添加反应过程中就地生成结晶化材料之反应物的
C30B15/04
添加掺杂材料,例如用于n-p结的
法律状态
2020-07-07 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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