节能型直拉单晶炉

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

本发明涉及一种直拉单晶生长装置，属于半导体生长设备技术领域。它包括液压伺服系统调节坩埚杆；在加热控制单元中，三相平衡变压器、滤波电容器、电抗器和电阻器组合连接而成，与谐波源并联；它还具有变频充气装置。本发明克服现有的坩埚轴升降驱动装置不能有效的保证生产操控稳定性及精确度不够精确不足，克服现有的加热控制单元不能消除谐波的不足，同时也克服现有的坩埚轴升降驱动装置不能有效的保证生产操控稳定性及精确度不够精确不足。

基本信息

专利标题：

节能型直拉单晶炉

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1990916A

申请号：

CN200510112026.6

公开（公告）日：

2007-07-04

申请日：

2005-12-27

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

周宁周建国

申请人：

周宁;周建国

申请人地址：

201400上海市奉贤区南桥镇新建路30号

代理机构：

上海新天专利代理有限公司

代理人：

王敏杰

优先权：

CN200510112026.6

主分类号：

C30B15/00

IPC分类号：

C30B15/00