一种直拉单晶炉

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摘要

本实用新型公开了一种直拉单晶炉，包括副炉室、位于副炉室内且用于提拉晶棒的提拉装置，还包括：设置在提拉装置上、用于在提拉装置提拉晶棒时测量提拉装置的拉力的拉力传感器；与拉力传感器相连、用于当提拉装置的拉力小于预设值时控制夹持装置启动的控制装置；可移动地贴合在副炉室内炉壁上、与控制装置相连、用于在控制装置的控制下移向晶棒并夹持住晶棒的夹持装置。本申请公开的上述技术方案，当控制装置判断出提拉装置的拉力小于预设值时，则确定发生晶棒掉落，此时，控制装置则控制夹持装置启动，启动后的夹持装置从副炉室的内炉壁上移向晶棒并夹持住晶棒，以避免晶棒继续往下掉，从而避免晶棒对直拉单晶炉造成破坏，并避免引发安全事故。

基本信息

专利标题：

一种直拉单晶炉

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920411715.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-03-28

授权号：

CN209669394U

授权日：

2019-11-22

发明人：

姜志兴张涛陈骏黄晶晶叶鹏贺小峰陈养俊金浩

申请人：

晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司

申请人地址：

江西省上饶市经济开发区晶科大道1号

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：

罗满

优先权：

CN201920411715.4

主分类号：

C30B15/20

IPC分类号：

C30B15/20 C30B29/06