一种用于生长掺杂直拉晶体的掺杂器定位装置及掺杂装置

专利申请权、专利权的转移

摘要

本实用新型提供一种用于生长掺杂直拉晶体的掺杂器定位装置，包括掺杂罩和定位件，定位件设于掺杂罩上，且定位件的一端与掺杂罩连接，定位件的另一端延伸出掺杂罩靠近硅溶液一端的端面，在掺杂时，定位件与硅溶液接触，对掺杂罩进行定位。本实用新型的有益效果是用于将低熔点元素(磷、砷)掺入硅溶液中的掺杂器使用，具有掺杂罩和定位件，对掺杂罩进行定位，使得掺杂效果一致性好。

基本信息

专利标题：

一种用于生长掺杂直拉晶体的掺杂器定位装置及掺杂装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922480285.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-31

授权号：

CN211713244U

授权日：

2020-10-20

发明人：

田宇翔娄中士李成袁长宏李鹏飞常瑞新马飞田旭东

申请人：

内蒙古中环领先半导体材料有限公司

申请人地址：

内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区宝力尔街15号

代理机构：

天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

栾志超

优先权：

CN201922480285.4

主分类号：

C30B15/04

IPC分类号：

C30B15/04 C30B29/06

相关图片

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C30

晶体生长

C30B

单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置

C30B15/00

熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法

C30B15/02

向熔融液中添加结晶化材料或添加反应过程中就地生成结晶化材料之反应物的

C30B15/04

添加掺杂材料，例如用于n-p结的

法律状态

2022-04-29 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移IPC(主分类) : C30B 15/04
登记生效日 : 20220418
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 内蒙古中环领先半导体材料有限公司
变更后权利人 : 内蒙古中环领先半导体材料有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 010070 内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区宝力尔街15号
变更后权利人 : 010070 内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区宝力尔街15号
变更事项 : 专利权人
变更后权利人 : 中环领先半导体材料有限公司

2020-10-20 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

CN211713244U.PDF

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