2-3英寸砷化镓定向划线尺
专利权的终止
摘要

本实用新型公开了一种2-3英寸砷化镓定向划线尺,在透明材料平板上刻有同心的Φ2英寸圆弧线和Φ3英寸圆弧线,用于对准2英寸或3英寸砷化镓单晶锭的外圆;在两条同心圆弧线的一条直径上刻有一条槽,并在该直径两边位置两端各刻有与其平行的条形槽,这两组三条槽一起组成主参考面划线槽,用于确定砷化镓单晶锭的镓面;在与主参考面划线槽垂直的直径线上刻有另一条槽,为次参考面划线槽,用于确定砷化镓单晶锭的砷面;在次参考面划线槽分割的其中一个半圆内,划有与其平行的一组平行线,用于保证砷化镓样片上的信息移植到砷化镓单晶锭上的准确性。本实用新型能够把砷化镓微观的晶格结构反映到宏观层面上,确保了产品质量,提高了生产效率。

基本信息
专利标题 :
2-3英寸砷化镓定向划线尺
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720140729.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-04-03
授权号 :
CN201048126Y
授权日 :
2008-04-16
发明人 :
佟丽英杨春明张海林史继祥王聪
申请人 :
中国电子科技集团公司第四十六研究所
申请人地址 :
300220天津市河西区陈塘庄岩峰路1号
代理机构 :
信息产业部电子专利中心
代理人 :
周奇
优先权 :
CN200720140729.4
主分类号 :
H01L21/66
IPC分类号 :
H01L21/66  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/66
在制造或处理过程中的测试或测量
法律状态
2011-06-08 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101077888032
IPC(主分类) : H01L 21/66
专利号 : ZL2007201407294
申请日 : 20070403
授权公告日 : 20080416
终止日期 : 20100403
2008-04-16 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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