一种用于固晶机的晶圆推顶系统

专利权的终止

摘要

本实用新型涉及一种用于固晶机的晶圆推顶系统，包括推顶针、推顶轴、基座、动力装置，推顶轴固定安装在基座上，推顶轴中空并且底部设孔，推顶针底部插在推顶轴底部孔中，推顶针顶部部分露在空中，动力装置连接基座。本晶圆推顶系统进一步包括吸附膜片装置和晶圆水平偏移装置。由于晶圆推顶系统能够将晶圆向上顶出，使晶圆与聚酯薄膜层脱离，使得晶圆容易被吸取，因此，大大提高了固晶机的工作效率和质量。

基本信息

专利标题：

一种用于固晶机的晶圆推顶系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720152474.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-06-04

授权号：

CN201054345Y

授权日：

2008-04-30

发明人：

杨少辰韩金龙罗会才刘义红

申请人：

大赢数控设备(深圳)有限公司

申请人地址：

518103广东省深圳市宝安区福永镇富源一路华发工业园第一栋

代理机构：

深圳市凯达知识产权事务所

代理人：

刘大弯

优先权：

CN200720152474.3

主分类号：

H01L21/00

IPC分类号：

H01L21/00 H01L21/67

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01L

半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件

H01L21/00

专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备

法律状态

2011-08-17 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101097338563
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2007201524743
申请日 : 20070604
授权公告日 : 20080430
终止日期 : 20100604

2009-09-23 ：

专利申请权、专利权的转移(专利权的转移)

变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 大赢数控设备(深圳)有限公司
变更后权利人 : 杨少辰
变更事项 : 地址
变更前 : 广东省深圳市宝安区福永镇富源一路华发工业园第一栋,邮编 : 518103
变更后 : 广东省深圳市宝安区福永街道新和社区福园一路华发工业园A11幢,邮编 : 518103
登记生效日 : 20090814

2008-04-30 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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