蒸镀设备干燥水导入系统
专利权的终止
摘要
本实用新型公开一种蒸镀设备干燥水导入系统,包括蒸镀腔室、一纯水气化单元、一纯水供给单元,纯水供给单元通过导管与纯水气化单元相连,纯水气化单元通过管道与蒸镀腔室相连,管道上安装有流量控制器。本实用新型既可通过降低高温蒸镀时释放水份以减少氢气含量的增大,也能够在刚投入制品开始较干燥的时候增加水份从而使得氢气含量达到工艺范围内立刻进行生产,可以增加大量生产时间与减少生产成本,大大提高生产效率;水导入系统可以通过控制面板简单的人为操作,对于高科技精确控制也可以通过程序以氢气含量为标准自动进行水导入量的控制。本实用新型能有效控制蒸镀设备内的氢气含量,有效提高生产效率和产品质量。
基本信息
专利标题 :
蒸镀设备干燥水导入系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820054645.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-01-11
授权号 :
CN201195745Y
授权日 :
2009-02-18
发明人 :
盛庭
申请人 :
上海松下等离子显示器有限公司
申请人地址 :
201206上海市浦东新区金穗路1398号
代理机构 :
上海泰能知识产权代理事务所
代理人 :
黄志达
优先权 :
CN200820054645.3
主分类号 :
C23C14/24
IPC分类号 :
C23C14/24
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2018-02-06 :
专利权的终止
专利权有效期届满IPC(主分类) : C23C 14/24
申请日 : 20080111
授权公告日 : 20090218
申请日 : 20080111
授权公告日 : 20090218
2013-07-03 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101623624665
IPC(主分类) : C23C 14/24
专利号 : ZL2008200546453
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 上海松下等离子显示器有限公司
变更后权利人 : 上海仪电电子股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201206 上海市浦东新区金穗路1398号
变更后权利人 : 201203 上海市浦东新区张江高科技园区张衡路200号1号楼2楼
登记生效日 : 20130608
号牌文件序号 : 101623624665
IPC(主分类) : C23C 14/24
专利号 : ZL2008200546453
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 上海松下等离子显示器有限公司
变更后权利人 : 上海仪电电子股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201206 上海市浦东新区金穗路1398号
变更后权利人 : 201203 上海市浦东新区张江高科技园区张衡路200号1号楼2楼
登记生效日 : 20130608
2009-02-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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