一种PVD设备蒸镀检测用导入接头
授权
摘要
本实用新型提供一种PVD设备蒸镀检测用导入接头，涉及PVD设备技术领域，包括与PVD设备预留口连接的法兰、与蒸镀检测仪连接的螺母和连接所述法兰和螺母的连接轴，所述连接轴的一端与所述法兰密封连接，另一端与所述螺母密封连接。采用本实用新型提供的导入接头，可以快速实现PVD设备预留孔与蒸镀检测仪之间的连接，从而方便对PVD设备内部的蒸镀数据进行检测和评估，提升PVD设备的检测维度。
基本信息
专利标题 ：
一种PVD设备蒸镀检测用导入接头
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921958697.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-13
授权号 ：
CN211005606U
授权日 ：
2020-07-14
发明人 ：
钱万勇
申请人 ：
苏州三原流体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市高新区浒青路156号
代理机构 ：
北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
赵瑞鹏
优先权 ：
CN201921958697.8
主分类号 ：
C23C14/54
IPC分类号 ：
C23C14/54 C23C14/52
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/54
镀覆工艺的控制或调节
法律状态
2020-07-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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