本实用新型公开了一种晶圆盒清洗设备的固定元件，涉及晶圆盒的清洗设备。所述底座设有可伸缩的卡扣部以及控制所述卡扣部伸缩的控制按钮。所述固定元件为由上下左右四个侧壁围绕而成的框体，固定元件侧壁的内侧设有与所述底座的卡扣部对应配合的嵌合槽；清洗底座前，首先将固定元件安装在清洗设备内；然后将底座放在固定元件的框体内，按下控制按钮，底座的卡扣部延伸出底座扣持在对应的嵌合槽内。本实用新型提供的固定元件可以固定晶圆盒的底座，这样清洗设备可以对底座实现自动化清洗，提高了清洗效率，清洗更彻底，有效避免了晶圆盒对晶圆的污染，进而提高了晶圆的质量和成品率。