晶圆容纳盒清洗设备及晶圆容纳盒清洗方法
授权
摘要
本发明公开了晶圆容纳盒清洗设备，包括用于盛放清洗晶圆容纳盒的清洗槽和管道部件。在清洗过程中，通过管道部件使得晶圆容纳盒内的清洗液和气体从晶圆容纳盒内抽走，防止气体在晶圆容纳盒内聚集，从而防止晶圆容纳盒浮起，清洗液或者气体经过回水管从清洗喷头流出后回流到清洗槽内，实现清洗液循环，防止清洗液的浪费。
基本信息
专利标题 ：
晶圆容纳盒清洗设备及晶圆容纳盒清洗方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113289995A
申请号 ：
CN202110531540.2
公开（公告）日 ：
2021-08-24
申请日 ：
2021-05-14
授权号 ：
CN113289995B
授权日 ：
2022-04-22
发明人 ：
钱诚李刚霍召军
申请人 ：
无锡亚电智能装备有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区菱湖大道111-12号国家软件园鲸鱼座C403
代理机构 ：
北京商专润文专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈平
优先权 ：
CN202110531540.2
主分类号 ：
B08B9/08
IPC分类号 ：
B08B9/08 B08B9/28 B08B9/34 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B9/00
用专门的方法或设备清洁空心物品
B08B9/08
清洗容器，如槽的清洗
法律状态
2022-04-22 ：
授权
2021-09-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B08B 9/08
申请日 : 20210514
申请日 : 20210514
2021-08-24 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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