一种晶圆片加工清洗液、生产方法及设备
公开
摘要
本发明涉及清洗液生产技术领域，具体涉及一种晶圆片加工清洗液、生产方法及设备；包括制备罐和冷却箱，冷却箱包括箱体、换热器和风冷器，风冷器包括风机、冷风管、出风板和单向阀，将清洗液组成原料依次导入制备罐内混合加热制备混合液，混合液导入箱体后，通过换热器吸收混合液热量并与外界空气进行热量交换，同时风机运作往冷风管内吹风，冷风管将风制冷后导入出风板，出风板将冷风吹出对混合液进行风冷散热，通过换热器和风冷器的双重散热，大大的缩短了混合液的冷却时间，从而有效的提高了清洗液的生产效率，解决传统清洗液生产设备生产清洗液，清洗液自然冷却降低生产效率的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆片加工清洗液、生产方法及设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114602351A
申请号 ：
CN202210246437.8
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2022-03-14
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
万小宁
申请人 ：
镌致实业（重庆）有限公司
申请人地址 ：
重庆市潼南区工业园区一期标准厂房服务大楼2楼217
代理机构 ：
重庆弘毅智行专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张庆淡
优先权 ：
CN202210246437.8
主分类号 ：
B01F27/90
IPC分类号 ：
B01F27/90 B01F35/92 C11D1/83 C11D3/04 C11D3/33 C11D3/36 C11D11/00 B01F101/24
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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