本实用新型涉及一种晶圆料盒料箱清洗装置，它包括机体，所述机体内设置有密封腔室，为清洗室；所述清洗室内中间设置有旋转笼，旋转笼通过旋转机构旋转安装在机体上，旋转笼上沿着旋转笼一周圈均匀分布设置有若干晶圆料盒和/或晶圆料箱的放置架；所述清洗室内设置有喷淋清洗装置构、液切机构；所述喷淋清洗装置构从旋转笼中心、外周以及上下两侧依次向旋转笼喷淋纯水、药液；所述液切机构从旋转笼中心、外周以及上下两侧向旋转笼喷射氮气；所述纯水为温度小于等于90℃的纯水，所述药液为预备药液对晶圆料盒和/或晶圆料箱进行全方位的清洗、干燥，采用高温纯水和预备药液进行清洗，清洗干净，采用热风和氮气进行干燥，干燥效果更好。