一种直拉单晶炉用坩埚驱动装置
专利权的终止
摘要

本实用新型公开了一种直拉单晶炉用坩埚驱动装置,设有升降驱动组件和旋转驱动组件,升降驱动组件设有安装支架、直线导轨、滚珠丝杠,直线导轨和滚珠丝杠固定在安装支架上,坩埚轴通过坩埚轴轴承座,固定在坩埚支架上,坩埚支架通过过渡连接块与滚珠丝杠的螺母和直线导轨的滑块连接在一起;慢速电机与谐波减速器直联并通过离合器与蜗轮减速器的一端输入轴连接;坩埚的旋转驱动组件设有旋转电机,通过行星减速器及旋转楔型带与坩埚轴连接。本实用新型适用于拉制大尺寸、高品质单晶的单晶炉作为坩埚的驱动装置,具有结构合理,操作简便,保证坩埚能平稳升降和旋转运动,大大提高坩埚性能的特点。

基本信息
专利标题 :
一种直拉单晶炉用坩埚驱动装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820132469.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-08-15
授权号 :
CN201241197Y
授权日 :
2009-05-20
发明人 :
常晓鱼
申请人 :
北京七星华创电子股份有限公司
申请人地址 :
100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN200820132469.0
主分类号 :
C30B15/30
IPC分类号 :
C30B15/30  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长,例如Czochralski法
C30B15/30
转动或移动熔体或晶体的机构
法律状态
2019-02-12 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : C30B 15/30
申请日 : 20080815
授权公告日 : 20090520
终止日期 : 20170815
2018-09-14 :
文件的公告送达
IPC(主分类) : C30B 15/30
收件人 : 北京七星华创电子股份有限公司
文件名称 : 专利权终止通知书
2018-02-16 :
文件的公告送达
IPC(主分类) : C30B 15/30
收件人 : 北京七星华创电子股份有限公司
文件名称 : 缴费通知书
2010-01-06 :
专利实施许可合同的备案
合同备案号 : 2009110000189
让与人 : 北京七星华创电子股份有限公司
受让人 : 北京七星弗洛尔电子设备制造有限公司
发明名称 : 一种直拉单晶炉用坩埚驱动装置
申请日 : 20080815
授权公告日 : 20090520
许可种类 : 独占许可
备案日期 : 2009.9.3
合同履行期限 : 2009.8.1至2014.7.30合同变更
2009-05-20 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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