光罩保护膜框体卸除装置
专利权的终止
摘要

本实用新型提供一种具有加热装置的光罩保护膜框体卸除装置,用以卸除一光罩上的光罩保护膜。此光罩保护膜框体卸除装置包含底座元件、卸除元件、承载元件、固定推杆、加热装置以及卸除元件等,承载元件设置于底座元件上,用以承载光罩,固定推杆则又设置于承载元件上,用以固定承载于承载元件上的具有光罩保护膜的光罩,而加热装置是用以加热具有光罩保护膜的光罩至一预定温度,使得黏合框体与光罩的胶材遇热融化并附着于框体上,另有一卸除元件亦设于底座元件上,用以将框体与光罩分离,为此可避免因胶材的沾黏与拉扯而导致光罩污染或图形损坏。

基本信息
专利标题 :
光罩保护膜框体卸除装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820133633.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-09-04
授权号 :
CN201262685Y
授权日 :
2009-06-24
发明人 :
杨家豪
申请人 :
家登精密工业股份有限公司
申请人地址 :
中国台湾台北县
代理机构 :
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 :
梁爱荣
优先权 :
CN200820133633.X
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20  G03F1/00  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2017-10-24 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G03F 7/20
申请日 : 20080904
授权公告日 : 20090624
终止日期 : 20160904
2009-06-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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