一种掩膜版传递和检查夹具

专利权的终止

摘要

本实用新型适用于传递和检查夹具技术领域，提供了一种掩膜版传递和检查夹具，其包括一框架、若干位于所述框架上的用来支撑掩膜版的支撑件和定位掩膜版的定位件，且所述支撑件的高度小于所述定位件的高度；所述框架的一对边中部分别向外设有一把手，所述把手和框架之间通过连接件连接。在传递时手握住把手，不会接触到掩膜版，避免了手对掩膜版的污染；掩膜版在仪器上检查时，在大小塑料销钉的作用下，可以保证掩膜版上的保护膜不被损坏。

基本信息

专利标题：

一种掩膜版传递和检查夹具

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820147155.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-09-10

授权号：

CN201273985Y

授权日：

2009-07-15

发明人：

荆学军

申请人：

清溢精密光电(深圳)有限公司

申请人地址：

518057广东省深圳市高新技术工业区北区松坪山朗山二路8号

代理机构：

深圳中一专利商标事务所

代理人：

张全文

优先权：

CN200820147155.8

主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F7/20 G03F1/00

IPC结构图谱

G部——物理

G03

摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术

G03F

图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备

G03F7/00

图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备

G03F7/20

曝光及其设备

法律状态

2018-10-09 ：

专利权的终止

专利权有效期届满IPC(主分类) : G03F 7/20
申请日 : 20080910
授权公告日 : 20090715

2010-12-22 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101054992599
IPC(主分类) : G03F 7/20
专利号 : ZL2008201471558
变更事项 : 专利权人
变更前 : 清溢精密光电(深圳)有限公司
变更后 : 深圳清溢光电股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 518057 广东省深圳市高新技术工业区北区松坪山朗山二路8号
变更后 : 518057 广东省深圳市高新技术工业区北区松坪山朗山二路8号

2009-07-15 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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