新型电极盒
避免重复授权放弃专利权
摘要
一种新型电极盒,用于真空镀膜机内。所述电极盒上部设置有进气口,下部设有排气口,进气口通过设有入气小孔矩阵的匀气板与电极盒内腔相通,排气口通过设有出气小孔矩阵的基板与电极盒内腔相通,该电极盒内腔包括若干电极板、该电极板上端与匀气板垂直连接,电极板下端与基板垂直连接,其特征在于:所述电机盒进一步包括安装于匀气板与基板之间且与电极板平行的辅助隔热板,所述辅助隔热板分别位于若干电极板两侧,所述匀气板、辅助隔热板及基板围成一个框体。被镀膜的玻璃基板平行放置并覆盖各个电极板的两主平面。本实用新型新型电极盒极大的提高了在玻璃基板上沉积薄膜的质量。
基本信息
专利标题 :
新型电极盒
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820153624.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-09-27
授权号 :
CN201296779Y
授权日 :
2009-08-26
发明人 :
奚建平金小亮李茂程
申请人 :
上海曙海太阳能有限公司;曙光控股集团有限公司
申请人地址 :
201300上海市南汇区工业园区陶桥路138号
代理机构 :
上海光华专利事务所
代理人 :
余明伟
优先权 :
CN200820153624.7
主分类号 :
C23C16/44
IPC分类号 :
C23C16/44 C23C14/24
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2010-12-08 :
避免重复授权放弃专利权
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101049386174
IPC(主分类) : C23C 16/44
专利号 : ZL2008201536247
申请日 : 20080927
授权公告日 : 20090826
放弃生效日 : 20080927
号牌文件序号 : 101049386174
IPC(主分类) : C23C 16/44
专利号 : ZL2008201536247
申请日 : 20080927
授权公告日 : 20090826
放弃生效日 : 20080927
2009-08-26 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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