一种双端多室真空镀膜装置
避免重复授权放弃专利权
摘要

一种双端多室真空镀膜装置,包括镀膜室、真空预备室和工件架车,在真空预备室的边侧部设有工件装卸台,真空预备室内设有两条工件架车转运轨道,在真空预备室的左右两端各连接有至少一个镀膜室,在所述的镀膜室内设有环形轨道,环形轨道分别通过轨道切换机构与工件架车转运轨道对接,工件装卸台设有“U”形传输轨道,“U”形传输轨道的两端与两条工件架车转运轨道横向相交,在相交处设有变轨装置和轨道槽,真空预备室与镀膜室和工件装卸台之间分别设有真空锁和门阀,真空预备室和镀膜室都与抽真空系统相连接。借助中间的真空预备室,可实现单机节拍式真空镀膜。在生产过程中镀膜室不暴露大气,缩短了生产周期,提高了生产效率,提高了膜层质量。

基本信息
专利标题 :
一种双端多室真空镀膜装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820186013.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-10-10
授权号 :
CN201272825Y
授权日 :
2009-07-15
发明人 :
张明富朱群王万忠
申请人 :
江苏太阳雨太阳能有限公司
申请人地址 :
222000江苏省连云港市新浦区海宁工贸园
代理机构 :
南京众联专利代理有限公司
代理人 :
王彦明
优先权 :
CN200820186013.2
主分类号 :
C23C14/22
IPC分类号 :
C23C14/22  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2011-06-15 :
避免重复授权放弃专利权
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101102077711
IPC(主分类) : C23C 14/22
专利号 : ZL2008201860132
申请日 : 20081010
授权公告日 : 20090715
放弃生效日 : 20081010
2010-12-08 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101051184869
IPC(主分类) : C23C 14/22
专利号 : ZL2008201860132
变更事项 : 专利权人
变更前 : 江苏太阳雨太阳能有限公司
变更后 : 日出东方太阳能股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 222000 江苏省连云港市新浦区海宁工贸园
变更后 : 222000 江苏省连云港市新浦区海宁工贸园
2009-07-15 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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