衬底保持设备以及抛光装置

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

一种根据本发明的衬底保持设备，其包括将与衬底的后表面接触的弹性膜，用于固定该弹性膜的至少一部分的附着构件，以及在当衬底与该弹性膜接触时用于保持该衬底的外围部分的保持环。弹性薄膜包括至少一个突出部分，而附着构件包括至少一个啮合部分，该啮合部分与弹性膜的该至少一个突出部分的侧表面啮合。弹性膜进一步包括波纹部分，该波纹部分可以在挤压方向上膨胀，以允许弹性膜挤压衬底，且该波纹部分可以沿着挤压方向收缩。

基本信息

专利标题：

衬底保持设备以及抛光装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101474772A

申请号：

CN200910006163.X

公开（公告）日：

2009-07-08

申请日：

2005-12-06

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

户川哲二吉田博锅谷治福岛诚深谷孝一

申请人：

株式会社荏原制作所

申请人地址：

日本东京都

代理机构：

永新专利商标代理有限公司

代理人：

邬少俊

优先权：

CN200910006163.X

主分类号：

B24B29/00

IPC分类号：

B24B29/00 B24B37/04 H01L21/00 B24B41/06