电子组件制造方法
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摘要

本公开涉及一种电子组件制造方法。该电子组件制造方法包括:制备包括导电构件的结构;在该结构的表面上形成包括与该导电构件电连接的第一部分和第二部分的种子金属层;在种子金属层的第二部分被第一构件覆盖的状态下,在种子金属层的第一部分上形成镀层;经由该镀层在种子金属层的第一部分上形成导电的第二构件;以及在该镀层被第二构件覆盖的状态下,蚀刻种子金属层的第二部分。

基本信息
专利标题 :
电子组件制造方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN108511415A
申请号 :
CN201810165281.4
公开(公告)日 :
2018-09-07
申请日 :
2018-02-28
授权号 :
CN108511415B
授权日 :
2022-06-14
发明人 :
数永友一
申请人 :
佳能株式会社
申请人地址 :
日本东京
代理机构 :
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 :
魏小薇
优先权 :
CN201810165281.4
主分类号 :
H01L23/528
IPC分类号 :
H01L23/528  H01L23/535  H01L21/3205  H01L21/768  
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L23/00
半导体或其他固态器件的零部件
H01L23/52
用于在处于工作中的器件内部从一个组件向另一个组件通电的装置
H01L23/522
包含制作在半导体本体上的多层导电的和绝缘的结构的外引互连装置的
H01L23/528
互连结构的布置
法律状态
2022-06-14 :
授权
2019-03-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 23/528
申请日 : 20180228
2018-09-07 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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