一种晶圆级光学元件及其制备方法
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摘要
本发明提供一种晶圆级光学元件,包括至少一个光学元件模块,所述光学元件模块包括基板和在基板上形成的若干个光学元件,各光学元件具有透光区和非透光区,非透光区包括第一阻光层和第二阻光层,第一阻光层位于基板和光学元件之间,第二阻光层位于不接触基板的光学元件表面,第二阻光层在基板的竖直投影与第一阻光层相接合或至少部分重叠。利用光刻技术设置尺寸精度高的第一阻光层,避免了现有技术中阻光层大面积覆盖基板,克服了阻光层与助黏剂大面积接触而导致的结合力差的缺点,提高了晶圆级光学元件的可靠性;同时,由于第二阻光层的制备方法对尺寸的精度要求低,使得整个光学元件对非透光区尺寸精度要求容差变大。
基本信息
专利标题 :
一种晶圆级光学元件及其制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN108873119A
申请号 :
CN201810597451.6
公开(公告)日 :
2018-11-23
申请日 :
2018-06-12
授权号 :
CN108873119B
授权日 :
2022-05-10
发明人 :
李凡月雷玫肖艳芬
申请人 :
华天慧创科技(西安)有限公司
申请人地址 :
陕西省西安市经济技术开发区凤城五路123号
代理机构 :
西安通大专利代理有限责任公司
代理人 :
李鹏威
优先权 :
CN201810597451.6
主分类号 :
G02B3/00
IPC分类号 :
G02B3/00 G02B5/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B3/00
简单或复合透镜
法律状态
2022-05-10 :
授权
2018-12-18 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 3/00
申请日 : 20180612
申请日 : 20180612
2018-11-23 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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