磁铁结构体、磁铁单元及包括此的磁控管溅射装置
授权
摘要
本发明涉及可利用在磁控管溅射装置的磁铁等，本发明的磁控管溅射装置的磁铁结构体包括永久磁铁；及使围绕所述永久磁铁的线。
基本信息
专利标题 ：
磁铁结构体、磁铁单元及包括此的磁控管溅射装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110073464A
申请号 ：
CN201880005034.6
公开（公告）日 ：
2019-07-30
申请日 ：
2018-02-08
授权号 ：
CN110073464B
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
金正健苏秉镐金宣映禹昌远赵成基
申请人 ：
ULVAC韩国股份有限公司
申请人地址 ：
韩国京畿道平泽市
代理机构 ：
北京尚伦律师事务所
代理人 ：
张俊国
优先权 ：
CN201880005034.6
主分类号 ：
H01J37/34
IPC分类号 ：
H01J37/34 C23C14/34 H01F7/122 H01F7/02
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
H01J37/34
用阴极溅射工作的
法律状态
2022-04-19 ：
授权
2020-03-17 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/34
申请日 : 20180208
申请日 : 20180208
2019-07-30 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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