一种新型磁控溅射阴极磁铁防水结构
授权
摘要
本实用新型公开了一种新型磁控溅射阴极磁铁防水结构，包括底座，磁铁设于底座上，磁铁表面覆盖透明的硅胶皮层，硅胶皮层四周被压板压在底座上，压板与底座可拆卸连接。硅胶皮层具有良好的防腐蚀性能，在冷却液中不会被腐蚀。同时硅胶皮层还具备一定的弹性，在压板与底座之间能起到密封圈的作用，使内部的磁铁与外部的冷却液隔绝，同时密封结构简单，便于拆装，方便后期维护。硅胶皮层为透明材质，便于查看硅胶皮层内的磁铁的状态，如果磁铁有异常可以直观看到。硅胶皮层的价格低廉，便于降低防水结构成本。
基本信息
专利标题 ：
一种新型磁控溅射阴极磁铁防水结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921130094.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-18
授权号 ：
CN210506507U
授权日 ：
2020-05-12
发明人 ：
关治军朱安秋
申请人 ：
苏州胜利精密制造科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市高新区浒关工业园浒泾路55号
代理机构 ：
苏州创元专利商标事务所有限公司
代理人 ：
范晴
优先权 ：
CN201921130094.9
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2020-05-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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