成膜方法
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摘要
本发明的课题在于提供一种在通过气溶胶沉积法进行的成膜中，能够进行高精度地图案化的成膜的成膜方法。通过将包含成膜材料的原料液气溶胶化，向基材供给气溶胶，将成膜材料成膜于基材上时，基材在被成膜面上具有相对于原料液为疏液性的疏液区域及相对于原料液为亲液性的亲液区域，将疏液区域的宽度设为L，将气溶胶的直径设为D时，满足“D≥L/2”来解决课题。
基本信息
专利标题 ：
成膜方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111491746A
申请号 ：
CN201880081409.7
公开（公告）日 ：
2020-08-04
申请日 ：
2018-12-11
授权号 ：
CN111491746B
授权日 ：
2022-04-29
发明人 ：
长谷川昌孝金沢勇人
申请人 ：
富士胶片株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
张志楠
优先权 ：
CN201880081409.7
主分类号 ：
B05D1/02
IPC分类号 ：
B05D1/02 B05D3/00 B05D3/02 B05D3/06 B05D3/10 B05D3/12 C23C14/22 C23C24/04 G02F1/13
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05D
对表面涂布流体的一般工艺
B05D1/00
涂布液体或其他流体的工艺
B05D1/02
用喷射方法
法律状态
2022-04-29 ：
授权
2020-08-28 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B05D 1/02
申请日 : 20181211
申请日 : 20181211
2020-08-04 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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