成膜方法
授权
摘要
本发明的课题在于提供一种在通过气溶胶沉积法进行的成膜中，能够提高成膜速度的成膜方法。将包含成膜材料的原料液气溶胶化，向以10kHz以下的频率振动的基材提供所生成的气溶胶，将包含成膜材料的膜成膜于基材上，由此解决课题。
基本信息
专利标题 ：
成膜方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111511476A
申请号 ：
CN201880082156.5
公开（公告）日 ：
2020-08-07
申请日 ：
2018-12-10
授权号 ：
CN111511476B
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
长谷川昌孝金沢勇人
申请人 ：
富士胶片株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
张志楠
优先权 ：
CN201880082156.5
主分类号 ：
B05D1/02
IPC分类号 ：
B05D1/02 B05D3/00 B05D3/02 B05D3/06 B05D3/10 B05D3/12 C23C24/04 G02F1/13
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05D
对表面涂布流体的一般工艺
B05D1/00
涂布液体或其他流体的工艺
B05D1/02
用喷射方法
法律状态
2022-05-03 ：
授权
2020-09-01 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B05D 1/02
申请日 : 20181210
申请日 : 20181210
2020-08-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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