成膜方法
授权
摘要

本发明的课题在于提供一种在通过气溶胶沉积法进行的成膜中,能够提高成膜速度的成膜方法。将包含成膜材料的原料液气溶胶化,向以10kHz以下的频率振动的基材提供所生成的气溶胶,将包含成膜材料的膜成膜于基材上,由此解决课题。

基本信息
专利标题 :
成膜方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN111511476A
申请号 :
CN201880082156.5
公开(公告)日 :
2020-08-07
申请日 :
2018-12-10
授权号 :
CN111511476B
授权日 :
2022-05-03
发明人 :
长谷川昌孝金沢勇人
申请人 :
富士胶片株式会社
申请人地址 :
日本东京都
代理机构 :
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 :
张志楠
优先权 :
CN201880082156.5
主分类号 :
B05D1/02
IPC分类号 :
B05D1/02  B05D3/00  B05D3/02  B05D3/06  B05D3/10  B05D3/12  C23C24/04  G02F1/13  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05D
对表面涂布流体的一般工艺
B05D1/00
涂布液体或其他流体的工艺
B05D1/02
用喷射方法
法律状态
2022-05-03 :
授权
2020-09-01 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B05D 1/02
申请日 : 20181210
2020-08-07 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332