金属板的筛选方法以及蒸镀掩模的制造方法
授权
摘要
本发明提供金属板的筛选方法以及蒸镀掩模的制造方法，其能够在第1面上稳定地设置宽度窄的抗蚀剂图案。金属板的制造方法具备准备由包含镍的铁合金构成的板材的准备工序。利用X射线光电子分光法实施了由板材得到的金属板的第1面的组成分析，在将作为结果得到的镍氧化物的峰面积值与镍氢氧化物的峰面积值之和设为A1、将铁氧化物的峰面积值与铁氢氧化物的峰面积值之和设为A2的情况下，A1/A2为0.4以下。
基本信息
专利标题 ：
金属板的筛选方法以及蒸镀掩模的制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110965020A
申请号 ：
CN201911293513.5
公开（公告）日 ：
2020-04-07
申请日 ：
2016-02-05
授权号 ：
CN110965020B
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
池永知加雄中山浩明池田和成初田千秋大内诗子
申请人 ：
大日本印刷株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
庞东成
优先权 ：
CN201911293513.5
主分类号 ：
C23C14/04
IPC分类号 ：
C23C14/04 C23F1/02 G01N23/2273 H01L51/50 H05B33/10
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/04
局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物
法律状态
2022-05-17 ：
授权
2020-05-01 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/04
申请日 : 20160205
申请日 : 20160205
2020-04-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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