一种多内串金属化薄膜蒸镀装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种多内串金属化薄膜蒸镀装置，包括支撑底板，所述支撑底板的顶端固定安装有四根竖直设置的支撑杆，四根所述支撑杆的顶端之间固定安装有水平设置的第一安装板，所述第一安装板的底端中间位置固定安装有竖直设置的伺服气缸，伺服气缸的输出轴固定安装有水平设置的压板，压板的正下方设有密封盖，密封盖与压板之间设有弹性杆，所述弹性杆的顶端与压板的底端固定连接。本实用新型结构巧妙，使用方便，蒸镀箱采用分体式设计，待蒸镀的薄膜的安装和拆卸均在蒸镀箱的外部进行，更加方便，且蒸镀的预热阶段可通过挡板将聚丙烯薄膜挡住，防止发生镀膜厚度不均的情况，使得蒸镀质量更高。
基本信息
专利标题 ：
一种多内串金属化薄膜蒸镀装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920553256.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-22
授权号 ：
CN209873081U
授权日 ：
2019-12-31
发明人 ：
王良国王军杨同彬
申请人 ：
安徽麦特电子股份有限公司
申请人地址 ：
安徽省宣城市宁国经济技术开发区河沥园区东城大道168号
代理机构 ：
合肥汇融专利代理有限公司
代理人 ：
杨家坤
优先权 ：
CN201920553256.3
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 C23C14/20
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2019-12-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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