一种量子芯片检测装置

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摘要

本实用新型公开了一种量子芯片检测装置，属于检测设备领域，包括探针卡槽盒、探针装置和检测装置，探针卡槽盒包括底板、盖板和连接器，底板上开有若干用于放置量子芯片的卡槽；盖板可拆卸盖在底板上开有卡槽的表面，盖板上与底板上的各卡槽相对位置处开有通孔；各连接器分别可拆卸安装在盖板上的各通孔内，连接器一端设有探针接头，另一端设有一对接触针；探针装置包括探针座、探针和探针移动装置，探针固定在探针移动装置上，并在探针移动装置的带动下移动至探针卡槽盒的上方与探针接头连接；检测装置与探针电连接；本实用新型能够避免采用移动探针与量子芯片表面极板直接接触的方式对量子芯片进行检测，对量子芯片的检测更加安全、稳定。

基本信息

专利标题：

一种量子芯片检测装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920558779.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-04-23

授权号：

CN209927980U

授权日：

2020-01-10

发明人：

李玲

申请人：

合肥本源量子计算科技有限责任公司

申请人地址：

安徽省合肥市合肥市高新区创业产业园二期E2栋6层

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201920558779.7

主分类号：

G01R31/28

IPC分类号：

G01R31/28