一种量子芯片检测装置

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摘要

本实用新型公开了一种量子芯片检测装置，包括芯片卡槽盒、探针装置和检测装置；芯片卡槽盒包括底板和盖板，底板表面设有用于放置芯片的芯片固定区，盖板开有第一通孔，盖板表面设有至少两个连接柱以及与所述连接柱数量相等的连接件，连接件的一端与所述连接柱连接，另一端延伸至所述第一通孔内并当芯片安装在芯片固定区内时可与芯片表面接触；探针装置包括探针座、探针和针移动装置，探针固定在探针移动装置上，在探针移动装置的带动下移动至芯片卡槽盒的上方与连接柱接触；检测装置与各探针电连接，它能够将芯片上的各检测端口分别通过具有固定位置的连接端引出，使得探针装置可与具有不同位置检测端口的芯片配合，检测过程更加稳定、安全。

基本信息

专利标题：

一种量子芯片检测装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920858827.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-06-10

授权号：

CN210109265U

授权日：

2020-02-21

发明人：

李玲

申请人：

合肥本源量子计算科技有限责任公司

申请人地址：

安徽省合肥市合肥市高新区创业产业园二期E2栋6层

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201920858827.4

主分类号：

G01R31/28

IPC分类号：

G01R31/28 G01R1/073