一种真空镀膜机的真空填充系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种真空镀膜机的真空填充系统，包括真空腔体，所述真空腔体顶部设置有进气管，进气管一端用于充入空气，进气管另一端延伸至真空腔体内部，所述进气管另一端连接有螺旋状泄气管，该螺旋状泄气管上均匀排列有若干个出气口，螺旋状泄气管由于其自身的形状结构，能够对进入的高速气体进行引流缓冲，吸收充入气体的冲击性，同时改变充入气体在真空腔体内的扩散方式，充入气体经由螺旋状泄气管上分布的出气口，气体能够平缓均匀分散地从真空腔体顶部填充入底部，减缓了充气系统的气体冲击性，避免了在真空腔体内形成回流，将真空腔体内的粉尘刮起，被工件表面吸附，造成工件镀膜不良，提高了良品率，节省了生产成本。
基本信息
专利标题 ：
一种真空镀膜机的真空填充系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920575758.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-25
授权号 ：
CN209816270U
授权日 ：
2019-12-20
发明人 ：
郑潜武
申请人 ：
珠海众睿诚科技有限公司
申请人地址 ：
广东省珠海市高新区唐家湾镇金鼎科技工业园金恒二路16号厂房B栋1楼B区
代理机构 ：
北京轻创知识产权代理有限公司
代理人 ：
谈杰
优先权 ：
CN201920575758.6
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2019-12-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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