一种金属氧化物蒸镀靶材的连续热压烧结装置
授权
摘要

本实用新型涉及一种金属氧化物蒸镀靶材的连续热压烧结装置,包括液压机机架、上液压压头、下液压顶出头、热压炉体、三温段热管和用于靶材成型的石墨模具,上液压压头和下液压顶出头安装在液压机机架上,热压炉体通过支撑板安装在液压机机架上,石墨模具安装在热压炉体内,上液压压头上连接有石墨上模杆,下液压顶出头上连接有石墨下模杆,三温段热管一端与热压炉体连接并通过靶材推出通道与石墨模具连通,热压炉体和石墨模具另一侧还设置有推杆,三温段热管从热压炉体往外依次为高温区段、中温区段和低温区段。采用本实用新型具有可连续烧结、单片靶材烧结时间短,成型不用掺脂、靶材尺寸控制精度高(可达±0.2mm)的优点,适合批量生产。

基本信息
专利标题 :
一种金属氧化物蒸镀靶材的连续热压烧结装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920579346.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-04-25
授权号 :
CN209840683U
授权日 :
2019-12-24
发明人 :
陆映东张倍维梁盈祥农浩莫斌
申请人 :
广西晶联光电材料有限责任公司
申请人地址 :
广西壮族自治区柳州市柳东新区水湾路2号柳东标准厂房2号配套办公楼222号
代理机构 :
柳州市荣久专利商标事务所(普通合伙)
代理人 :
韦微
优先权 :
CN201920579346.X
主分类号 :
F27B5/05
IPC分类号 :
F27B5/05  F27B5/06  C04B35/64  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F27
炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉;开式烧结设备或类似设备
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉;开式烧结设备或类似设备
F27B5/00
马弗炉;干馏炉;其他炉料完全隔绝的炉
F27B5/04
适用于在真空中或特殊气氛中处理炉料的
F27B5/05
在真空中
法律状态
2019-12-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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