一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
摘要

本实用新型提供了一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构,包括放料机构、收料机构、压紧装置和切断机构,所述放料机构、收料机构、压紧装置和切断机构均设置于真空舱内,所述放料机构和收料机构分别位于溅镀区左右两侧,所述压紧装置和切断机构均位于收料机构上方并与真空舱顶部固定连接,所述收料机构包括若干卷料机构,所述卷料机构用于缠绕从放料机构上放下的带料。本实用新型通过在收料机构上设置若干卷料机构对带料进行分开缠绕,避免了收纳带料时,由于缠绕外径过大带料发生偏移,进而提高了带料溅镀精度;本实用新型的收料机构能够实现对放料机构上同一批带料的一次性收纳,避免了加工过程中换型,提高了加工效率。

基本信息
专利标题 :
一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920845296.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-06-06
授权号 :
CN210480318U
授权日 :
2020-05-08
发明人 :
蔡水河
申请人 :
常州欣盛半导体技术股份有限公司
申请人地址 :
江苏省常州市武进区东方东路51-1号
代理机构 :
北京驰纳智财知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
蒋路帆
优先权 :
CN201920845296.5
主分类号 :
B65H18/10
IPC分类号 :
B65H18/10  B65H19/26  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B65
输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料
B65H
搬运薄的或细丝状材料,如薄板、条材、缆索
B65H18/00
卷绕条材
B65H18/08
条材卷绕机构
B65H18/10
动力施加于条材辊心轴上的机构
法律状态
2022-02-11 :
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
专利权质押合同登记的生效IPC(主分类) : B65H 18/10
登记号 : Y2022320000027
登记生效日 : 20220121
出质人 : 常州欣盛半导体技术股份有限公司
质权人 : 中国建设银行股份有限公司常州经济开发区支行
实用新型名称 : 一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构
申请日 : 20190606
授权公告日 : 20200508
2020-05-08 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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