一种芯片载带光刻用挡板机构

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摘要

本实用新型提供了一种芯片载带光刻用挡板机构，包括放料架、挡板机构、收料架和压辊，所述放料架、挡板机构、收料架和压辊设置在光刻舱内，所述压辊两端与光刻舱内壁转动连接，所述挡板机构位于放料架和收料架之间，所述挡板机构的左右两端各有一个压辊，两个所述压辊之间的载带贴在挡板机构上并随着挡板机构转动。本实用新型结构简单，通过放料架放料，再由挡板机构和压辊进行光刻，最后由收料架收料，完成了载带的光刻工序，易于实现，加工效率高，可实现连续生产。

基本信息

专利标题：

一种芯片载带光刻用挡板机构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920854910.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-06-06

授权号：

CN209746352U

授权日：

2019-12-06

发明人：

蔡水河

申请人：

常州欣盛半导体技术股份有限公司

申请人地址：

江苏省常州市武进区东方东路51-1号

代理机构：

北京驰纳智财知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

蒋路帆

优先权：

CN201920854910.4

主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F7/20