单晶炉底部断热材

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摘要

本实用新型公开了一种单晶炉底部断热材，属于单晶硅生产设备技术领域。包括断热材本体及设置于所述断热材本体上的若干防护套，所述防护套可拆卸安装于所述断热材本体上。本实用新型技术方案改变传统单晶炉底部断热材的一体式设计，通过将所述防护套可拆卸连接于所述断热材本体上，一方面，在将所述单晶炉底部断热材安装于单晶炉底座上时，安装准确快捷，操作友好。另一方面，在进行清扫时，减少清扫过程中对所述防护套的碰撞，减少所述防护套的损坏率，延长设备的使用寿命。再一方面，当所述防护套被损坏后，可仅仅对所述防护套进行更换，从而极大的降低了生产成本。

基本信息

专利标题：

单晶炉底部断热材

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920917342.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-06-18

授权号：

CN210177002U

授权日：

2020-03-24

发明人：

李小红李磊王忠保闫龙赵延祥小暮康弘王黎光徐庆晧

申请人：

宁夏银和半导体科技有限公司

申请人地址：

宁夏回族自治区银川市西夏区光明西路28号

代理机构：

宁夏合天律师事务所

代理人：

孙彦虎

优先权：

CN201920917342.8

主分类号：

C30B15/14

IPC分类号：

C30B15/14 C30B29/06