单晶炉热屏结构

授权

摘要

一种单晶炉热屏结构，包括内热屏、外热屏、固定部件、热屏上部断热材盖、保护盖板、提升环，内热屏套装在外热屏内，外热屏的顶部固定设置有连接凸边，提升环设置在连接凸边的下部，固定部件与提升环固定连接，且固定部件的底部与提升环的上部表面相贴合，热屏上部断热材盖固定设置在连接凸边及提升环的上部，保护盖板固定设置在热屏上部断热材盖的上部；本实用新型在使用的时候可以减轻氩气对断热材的冲刷，使得氩气难以将热屏断热材上的碳粉，纤维等带入溶汤，提高成晶率，改善晶棒体内碳含量，延长断热材使用寿命。

基本信息

专利标题：

单晶炉热屏结构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022004275.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-14

授权号：

CN213037874U

授权日：

2021-04-23

发明人：

伊冉

申请人：

宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

申请人地址：

宁夏回族自治区银川市西夏区光明西路28号

代理机构：

宁夏合天律师事务所

代理人：

曹广涛

优先权：

CN202022004275.6

主分类号：

C30B15/00

IPC分类号：

C30B15/00