单晶炉热屏移动车

授权

摘要

一种单晶炉热屏移动车，涉及热屏辅助设备技术领域，以移动热屏，包括由上至下依次固定连接的放置板、支撑部、移动轮，放置板水平设置，且开设有放置孔，放置孔的直径大于热屏底部的直径、小于热屏顶部的直径，以使热屏由上至下插入放置孔内，进而使热屏的顶部与放置板搭接固定；支撑部将放置板抬高，以使热屏的底部远离地面且悬空。热屏放置在本装置上后使得热屏底部悬空，并与地面保持一定距离，防止本装置在移动过程中不会与热屏底部发生撞击，也不会因此减少热屏的使用寿命；支撑部的高度除了保证热屏悬空外，还将热屏底部与地面之间预留25mm的距离，保证在操作人员忘记取下石英针的情况下，不会使石英针撞击到地面，保护石英针。

基本信息

专利标题：

单晶炉热屏移动车

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020423944.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-03-27

授权号：

CN212077195U

授权日：

2020-12-04

发明人：

闫龙魏兴彤

申请人：

宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

申请人地址：

宁夏回族自治区银川市西夏区光明西路28号

代理机构：

宁夏合天律师事务所

代理人：

孙彦虎

优先权：

CN202020423944.0

主分类号：

C30B15/14

IPC分类号：

C30B15/14