大直径高效N型单晶硅的单晶炉

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摘要

本实用新型公开了一种能够降低通入氩气对炉体内热场造成影响，能够保证氩气气流稳定的大直径高效N型单晶硅的单晶炉。该大直径高效N型单晶硅的单晶炉，包括炉体、上炉腔；所述炉体的炉膛内设置有坩埚、石墨托、底部旋转支撑杆；所述坩埚外侧设置有加热装置以及保温罩；所述保温罩上方设置有环形布气筒；环形布气筒与保温罩顶部以及炉体内壁之间形成惰性气体进入腔；惰性气体进入腔内设置有气体加热装置；坩埚上方设置有导流筒；所述保温罩底部设置有通气孔；炉体上端设置有连通惰性气体进入腔的进气口；所述布气筒上设置有布气孔，所述炉体底部设置有出气口。采用该大直径高效N型单晶硅的单晶炉能够便于控制含氧量，同时能够保证单晶硅的品质。

基本信息

专利标题：

大直径高效N型单晶硅的单晶炉

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921105646.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-15

授权号：

CN210215612U

授权日：

2020-03-31

发明人：

陈嘉豪徐文州樊茂德喻先丽

申请人：

乐山新天源太阳能科技有限公司

申请人地址：

四川省乐山市乐山高新区建业大道888号

代理机构：

成都点睛专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

李玉兴

优先权：

CN201921105646.0

主分类号：

C30B15/14

IPC分类号：

C30B15/14 C30B29/06