单晶硅直径测定法及其设备
专利申请的视为撤回
摘要
本发明涉及一种测定单晶硅直径的方法和设备。在用CZ法提拉单晶的一规定转动周期的间隔内，用光学装置对熔融环的亮度分布进行取样，由此得出该提拉单晶的直径测定值，再用低通滤波器处理该直径测定值，以产生转换成时序直径数据的滤波器输出值，然后求出滤波器输出值的移动平均值，从而计算出直径值。本发明涉及的设备包括能完成上述测定方法的光学装置、一低通滤波器和计算装置。
基本信息
专利标题 ：
单晶硅直径测定法及其设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1056165A
申请号 ：
CN91102921.4
公开（公告）日 ：
1991-11-13
申请日 ：
1991-04-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
川岛章浩佐藤晨夫大川登志男
申请人 ：
日本钢管株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
中国专利代理有限公司
代理人 ：
肖掬昌
优先权 ：
CN91102921.4
主分类号 ：
G01B11/08
IPC分类号 ：
G01B11/08 C30B15/26
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/08
用于计量直径
法律状态
1993-10-13 ：
专利申请的视为撤回
1992-09-09 ：
实质审查请求已生效的专利申请
1991-11-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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