一种单晶炉移动热屏装置
专利权的终止
摘要

本实用新型涉及生长单晶半导体材料的单晶炉的移动热屏装置。该装置由热屏、热屏拉杆、波纹管、滚珠丝杠座、伺服电机等组成。热屏通过支架与热屏拉杆连接固定,热屏拉杆和超高真空波纹管及滚珠丝杠座连接固定,两个伺服电机同步驱动两个滚珠丝杠,螺母与其固定在一起的滚珠丝杠座、热屏拉杆和超高真空波纹管一起上下运动,由此驱动热屏上下运动。热屏可在其行程范围内任意位置悬停,在硅单晶生长时也可将热屏搁置在保温筒上。水冷套固定在上炉体上端面上。可移动的热屏和固定的水冷套显著改善了热场的纵向温度梯度,使硅单晶生长速率提高了15%~20%,电源消耗功率降低了25%~30%。

基本信息
专利标题 :
一种单晶炉移动热屏装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200620042514.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2006-06-08
授权号 :
CN200958129Y
授权日 :
2007-10-10
发明人 :
周鸿军忻礼华程旭兵
申请人 :
上海汉虹精密机械有限公司
申请人地址 :
200444上海市宝山城市工业园区山连路188号
代理机构 :
上海正旦专利代理有限公司
代理人 :
陆飞
优先权 :
CN200620042514.4
主分类号 :
C30B15/00
IPC分类号 :
C30B15/00  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长,例如Czochralski法
法律状态
2016-08-03 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101672692151
IPC(主分类) : C30B 15/00
专利号 : ZL2006200425144
申请日 : 20060608
授权公告日 : 20071010
终止日期 : 20150608
2011-07-06 :
专利实施许可合同备案的生效、变更及注销
专利实施许可合同备案的生效号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101109691587
IPC(主分类) : C30B 15/00
专利申请号 : 2006200425144
专利号 : ZL2006200425144
合同备案号 : 2011330000454
让与人 : 上海汉虹精密机械有限公司|上海申和热磁电子有限公司
受让人 : 杭州大和热磁电子有限公司
实用新型名称 : 一种单晶炉移动热屏装置
申请日 : 20060608
授权公告日 : 20071010
许可种类 : 独占许可
备案日期 : 20110509
2011-01-05 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101058404586
IPC(主分类) : C30B 15/00
专利号 : ZL2006200425144
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 上海汉虹精密机械有限公司
变更后权利人 : 上海汉虹精密机械有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 200444 上海市宝山城市工业园区山连路188号
变更后权利人 : 200444 上海市宝山城市工业园区山连路188号
变更事项 : 共同专利权人
变更前权利人 : 无
变更后权利人 : 上海申和热磁电子有限公司
登记生效日 : 20101124
2007-10-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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